Vaakummetalliseerimisseadmed

Kas PVD-katted on ohutud?

Füüsikalised aurustamise-sadestamise protsessid on keskkonnasõbralik ehk "plaadistamise" tehnika, mis vähendab oluliselt mürgiste ainete kogust, mida tuleb kasutada, hallata ja kõrvaldada, võrreldes teiste "märgade" protsessidega, mis hõlmavad vedeliku lähteaineid ja keemilisi reaktsioone, mida kasutatakse sama tulemuse saavutamiseks. . Kuna see on võimeline tootma äärmiselt puhtaid, puhtaid ja vastupidavaid katteid, on füüsikaline aurustamine-sadestamine kirurgiliste ja meditsiiniliste implantaatide tööstuses valitud tehnoloogia.

Kas sa tead, mis on katmismasin? See viitab peamiselt katte tüübile, mida tuleb teostada suure vaakumi all, sealhulgas mitut tüüpi, sealhulgas vaakum-ioonide aurustamine, magnetroni pihustamine, MBE molekulaarkiire epitaksia, PLD-laserpihustamine ja paljud teised.

Vaakumsüsteem sisaldab mehaanilist pumpa, krüogeenset pumpa, töötlemisventiili, eesliini ventiili, siibrit ja vaakummõõturit vaakumi tuvastamiseks. Magnetroni pihustamise ajal tuleks lämmastiku, hapniku ja veeauru mõju protsessile minimeerida, seega peab vaakumi aste olema alla 0,13 mPa ~ 4 Pa. Tavaliselt kasutatakse Nowdry pumpa ja krüogeenset pumpa. Kuivpumpa kasutatakse madala vaakumi pumpamiseks. Võrreldes algse mehaanilise õlipumbaga võib see takistada õlipumbas oleva õli ja gaasi sattumist vaakumkambrisse, saastades aluspinda ja vähendades kile ja aluspinna vahelist haardumist. Tavaliselt pärast kuivpumba pumpamist alla 6,5 ​​Pa avatakse siibriventiil ja krüogeenset pumpa kasutatakse kõrgvaakumi pumpamiseks. Krüogeenset pumpa iseloomustab suur pumpamiskiirus, eriti veeauru eemaldamise võime on väga tugev.

Pommitamiskattesüsteem koosneb alalisvoolu toiteallikast, sihtmaterjalist, jahutusveest, püsimagnetist, substraadi kuumutusseadmest, deflektorist, varjestuskihist jne. See on magnetroni pihustusjaama põhiosa. Alalisvoolu toiteallikas annab negatiivse kõrge pinge 300-1 000 V ja rakendab selle sihtmärgile, nii et sihtmärk on katoodil ja põhimik anoodil. Jahutusvett kasutatakse sihtmaterjali jahutamiseks, et vältida sihttemperatuuri liiga kiiret tõusu pritsimise tõttu. Jahutusveetorustik peaks olema valmistatud isolatsioonimaterjalidest, näiteks plasttorudest, mitte metalltorudest. Substraadi kuumutusseade võib eemaldada aluspinnalt lisandeid, näiteks veeauru, mis võib parandada kile ja aluspinna vahelist haardumist. Lisaks võib mõne metalli puhul sobiv temperatuur parandada kile kvaliteeti.

Rakendus

Parameeter

Meie firma

Kuum tags: vaakummetalliseerimisseadmed, Hiina, tarnijad, tootjad, tehas, kohandatud, ost, hind, pakkumine