Lõiketööriistad kõva vaakumkatmismasin

Magnetväljade mõju

Magnetvälja ebaühtlus muudab filmi ühtluse halvemaks. Magnetroni pihustamise põhiprintsiip on pikendada elektronide trajektoori läbi magnetvälja ja põrkuda nii palju kui võimalik argooni aatomitega. Kohas, kus magnetväli on tugev, tekib rohkem Ar pluss ioone ja pommitatakse Sihtmaterjali aatomeid rohkem ja kilekiht substraadil on paksem. Vastupidi, seal, kus magnetväli on nõrk, on kilekiht õhem. Ilmselgelt mõjutab magnetvälja tugevus ka sadestuskiirust, sadestuskiirus on kõrge, kui magnetväli on tugev, ja vastupidi, sadestuskiirus on madal.

Aluspinna temperatuuri ja puhtuse mõju

Sobiv substraadi temperatuur võib parandada kile nakkumist ja sadestumise kiirust, mis nõuab konkreetse temperatuuri uurimist vastavalt erinevatele sihtmärkidele. Aluspinna puhtus mõjutab suuresti aluspinna ja kile nakkuvust, mistõttu on väga oluline teha korralikku tööd aluspinna ja vaakumkambri puhastamisel.

Rakendus

Parameeter

Meie firma

Kuum tags: lõikeriistad kõva vaakumkatmismasin, Hiina, tarnijad, tootjad, tehas, kohandatud, osta, hind, pakkumine