Vaakumaurustuskatte tehnoloogia tutvustus

Vaakumkatmismasinate tootjate vaakum-aurustuskatmise tehnoloogia hõlmab takistusaurustuskatet, elektronkiirega aurustuskatet, laserkiirega aurustuskatet, kõrgsageduslikku induktsioonkuumutusega aurustuskatet jne. Järgmises tabelis on loetletud mitmete aurustuskatte tehnoloogiate omadused.

1. Vastupidav aurustusplaat: Aurustuskindluse allikat kasutatakse madala sulamistemperatuuriga materjalide, nagu kuld, hõbe, tsinksulfiid, magneesiumfluoriid, kroomtrioksiid jne, aurustamiseks. Resistentsed aurustumisallikad on tavaliselt valmistatud volframist, molübdeenist ja tantaalist.

2. Elektronkiire aurustamine: pärast kilematerjali aurustamist ja aurustamist elektronkiirega kuumutamisel on see vaakumaurustamise tehnoloogias oluline kuumutusmeetod, et kondenseeruda ja moodustada aluspinna pinnale kile. Selliseid seadmeid on mitut tüüpi. Õhukese kile tehnoloogia laialdase rakendamisega ei ole mitte ainult nõuded membraanide tüüpidele erinevad, vaid ka nõuded membraanide kvaliteedile on rangemad. Vastupanu aurustumine ei suuda enam rahuldada mõnede metallide ja mittemetallide aurustamise vajadusi. Elektronkiire soojusallikas võib saada palju suurema energiatiheduse kui takistussoojusallikas ja väärtus võib ulatuda 104-109w/cm2-ni, nii et kilet saab kuumutada temperatuurini 3000-6000c. See annab parema soojusallika tulekindlate metallide ja mittemetalliliste materjalide (nt volfram, molübdeen, germaanium, SiO2, AI2O3 jne) aurustamiseks. Pealegi, kuna aurustatav materjal asetatakse vesijahutusega tiiglisse, aurustub mahuti materjali ning reaktsiooni konteineri materjali ja kilematerjali vahel saab vältida, mis on äärmiselt oluline kile puhtuse parandamiseks. Lisaks saab soojust otse kilematerjali pinnale lisada, nii et soojustõhusus on kõrge ning soojusjuhtivus ja soojuskiirguskaod väikesed.

3. Kõrgsageduslik induktsioonkuumutus aurustamine: metall kuumutatakse induktsioonkuumutuse põhimõttel aurustumistemperatuurini. Asetage kilematerjali sisaldav tiigel spiraalse mähise keskele (kontaktivaba) ja laske läbi mähise kõrgsagedusvoolu, mis võib panna metallkile materjali tekitama voolu, mis soojendab end kuni aurustumiseni.

Induktsioonkuumutuse aurustusallika omadused: 1) aurustumiskiirus on suur 2) aurustusallika temperatuur on ühtlane ja stabiilne ning alumiiniumi tilgapritsme nähtust pole lihtne tekitada 3) Aurustumisallikat laetakse korraga , traadi etteandemehhanismi pole vaja, temperatuuri reguleerimine on suhteliselt lihtne ja toimimine lihtne 4) Kile jaoks on materjali puhtuse nõuded veidi laiemad.

4. Kaarkuumutusega aurustusplaat: elektronkiirtega kuumutamismeetodiga sarnane kuumutusmeetod on kaarelahenduskuumutusmeetod. Sellel on ka omadused, mis väldivad takistusküttematerjalide või tiiglimaterjalide saastumist ning kuumutamistemperatuur on kõrge, eriti sobiv kõrge sulamistemperatuuri ja teatud juhtivusega tulekindlate metallide, grafiidi jms aurustamiseks. Samas on selle meetodi puhul kasutatud seadmed lihtsamad kui elektronkiirkütteseadme omad, seega on tegemist suhteliselt odava aurustusseadmega.

5. Laserkiirega aurustamine: meetodit suure võimsustihedusega impulsslaseri kasutamiseks materjali aurustamiseks õhukese kile moodustamiseks nimetatakse üldiselt laseraurustamiseks.